氣相沉積爐日常使用方法有哪些呢　　氣相沉積爐主要用于半導(dǎo)體元器件及電力整流裝置的燒結(jié)工藝，可進(jìn)行真空燒結(jié)、氣體保護(hù)燒結(jié)及常規(guī)燒結(jié)，是半導(dǎo)體專用設(shè)備系列中新穎的技術(shù)裝備，設(shè)計思路新穎，操作方便，結(jié)構(gòu)緊湊，一臺設(shè)備即可完成多個工藝流程。也可用于其他領(lǐng)域的真空熱處理、真空釬焊等工藝，那么下面一起了解下爐子的使用必備技巧吧!　　氣相沉積爐在抽真空后氫氣保護(hù)的情況下，利用中頻感應(yīng)加熱原理，使位于盤管內(nèi)的鎢坩堝達(dá)到高溫，通過熱輻射傳導(dǎo)到工作中，適用于科研、軍工部門對鎢、鉬及其合金粉末進(jìn)行成型燒結(jié)。安裝爐子的場地應(yīng)符合真空衛(wèi)生要求，周圍空氣清潔干燥，通風(fēng)條件好，工作場所不易揚起灰塵等。它的日常使用方法：　　1、檢查控制柜內(nèi)所有零部件及部件是否完好、完好?！　?、控制柜安裝固定在相應(yīng)的基礎(chǔ)上。　　3、查看接線圖，參考電路圖，連接外接主回路和控制回路，可靠接地，保證接線無誤。　　4、檢查電器活動部位活動自如，無卡死現(xiàn)象。　　5、絕緣電阻不應(yīng)小于2萬億歐姆?！　?、氣相沉積爐各閥門必須在關(guān)閉位置?！　?、控制電源開關(guān)置于斷開位置?！　?、手動調(diào)壓旋鈕逆時針轉(zhuǎn)動頭。　　9、將報警按鈕置于打開位置?！　?0、平面圖完成設(shè)備循環(huán)冷卻水連接時，建議用戶在氣相沉積爐總進(jìn)出水管處再加一層備用水(可用自來水)，防止循環(huán)水故障或斷電引起密封圈燃燒。

　　真空熔煉爐的優(yōu)點有哪些　　真空熔煉爐主要用于燒結(jié)活性和不溶性金屬、硬質(zhì)合金、磁性材料和不銹鋼。實際上是低壓（減壓）燒結(jié)。真空度越高，與中性大氣的距離越近，材料發(fā)生的化學(xué)反應(yīng)就越少。它的主要優(yōu)點是：　　（1）真空有利于吸附氣體的去除，對燒結(jié)后期的收縮有明顯的促進(jìn)作用?！　。?）真空有利于去除硅、鋁、鎂、鈣及其氧化物等雜質(zhì)，起到凈化材料的作用?！　。?）真空可以提高液相燒結(jié)的潤濕性，有利于燒結(jié)過程中的收縮，改善合金的組織?！　。?）真空是一種理想的惰性氣體。當(dāng)其它一次或惰性氣體不合適，或材料容易脫碳和滲碳時，可采用真空熔煉爐?！　。?）減少大氣中有害成分（水、氧、氮等）對產(chǎn)品的污染。例如，將電解氫中的含水量降低到-40℃是困難的，而在真空燒結(jié)中，只要在幾百帕的范圍內(nèi)。　　粘結(jié)金屬在真空液相燒結(jié)過程中的揮發(fā)損失是一個重要問題。這不僅改變和影響了合金的成分和結(jié)構(gòu)，而且阻礙了燒結(jié)過程本身。粘結(jié)金屬的揮發(fā)損失主要發(fā)生在燒結(jié)后期（即保溫階段）。真空熔煉爐保溫時間越長，粘結(jié)金屬的揮發(fā)損失越大。因此，化學(xué)雜質(zhì)、水和其他材料與材料中的碳發(fā)生反應(yīng)，導(dǎo)致一氧化碳與爐內(nèi)排放。此時，爐壓明顯升高，合金中總碳含量降低。顯然，碳含量的變化取決于原料粉末中的氧含量和燒結(jié)過程中的真空度。二者越高，產(chǎn)生一氧化碳的反應(yīng)越容易，脫碳越嚴(yán)重。

　　使用氣相沉積爐時需要特別注意哪些事項　　使用氣相沉積爐時需要特別注意以下幾點。大家一起看看吧?！　?、模具一般由用戶自備，模具材料基本采用高純石墨，其耐壓極限為40MPa。建議用戶在30MPa以下使用，加壓前計算模具上、下沖頭面積，換算成壓力。具體公式如下：系統(tǒng)允許加壓(噸)=上或下沖頭面積30MPa　　2、熱電偶為鎢錸型，使用后變脆，不能接觸。破損時請立即更換。其型號為W2型?！　?、冬季要注意氣相沉積爐循環(huán)水的保溫問題。否則容易發(fā)生自來水管破裂?！　?、使用后爐體應(yīng)保持真空，爐內(nèi)保溫層容易受潮，保持真空下次抽真空會更快?！　?、設(shè)備復(fù)雜，建議專人使用，專人負(fù)責(zé)，嚴(yán)格對初學(xué)者進(jìn)行使用前培訓(xùn)，有使用后檢查、操作使用記錄等設(shè)備使用規(guī)定?！　?、氣相沉積爐也可作為真空燒結(jié)爐使用。用于真空燒結(jié)爐時，請注意在爐內(nèi)放置坩堝后，合上保溫板蓋后，不要忘記合上其中的小蓋。容易燒毀電爐?！　?、操作前觀察窗玻璃清潔，清掃爐內(nèi)壁，觀察水壓情況，觀察爐內(nèi)石墨有無損傷，開機后觀察儀表顯示是否正常，測試液壓系統(tǒng)是否正常工作。　　8、氣相沉積爐使用一年后，應(yīng)將儀器送計量部門校準(zhǔn)。

　　這些石墨化爐的相關(guān)知識點你知道嗎　　當(dāng)我們看到石墨化爐的時候，相信有的人很熟悉，有的人會覺得很陌生。不過不用擔(dān)心，作為廠家，我們借此機會今天給大家講一些和石墨爐有關(guān)的相關(guān)知識點?！　≡谑褂檬癄t的時候，我們應(yīng)該知道它的主要用途。硬質(zhì)合金材料的高溫?zé)Y(jié):電池材料的高溫處理;石墨粉的高溫處理:高導(dǎo)熱薄膜的燒結(jié):在這些地方也可以看到。所以在這里工作的人都很熟悉。另外，在操作爐子時我們需要知道的是，它也可以用于一些碳纖維碳化和石墨化處理;觸頭、陶瓷、高溫部件都是用高溫?zé)Y(jié)?？梢娖鸬降淖饔靡彩窍喈?dāng)大的?！　∫话愕氖癄t儀器說明書上面有的常規(guī)步驟就不多說了，大家可以知道儀器設(shè)備狀態(tài)的正常時取得一個準(zhǔn)確分析數(shù)據(jù)的先決條件，但是他們有時儀器自檢也許是已經(jīng)通過了，但是對于有些儀器部分主要還是發(fā)展需要提高大家來檢查?！　?.光譜儀部分：見燈負(fù)高壓正常范圍(一般在450-650v)，如突然發(fā)現(xiàn)負(fù)高壓，估計會檢查光路，看是否有異物堵塞光，鏡頭霧水，需要使用鏡子紙或電吹風(fēng)，并檢查環(huán)境溫濕度標(biāo)準(zhǔn)。　　2.自動取樣器：先觀察自動取樣器管路是否異常，有時一夜或更長時間不使用，以及解決方案。待測溶液可能在管道中，在自動取樣器毛細(xì)管中蒸發(fā)結(jié)晶，導(dǎo)致自動取樣器堵塞，或管道不平整。此時，當(dāng)大型石墨化爐儀器處于清洗過程中時，毛細(xì)管流出的水滴速度會減慢。或者可以延遲吸水。要看溶液是否能準(zhǔn)確地注入石墨管中，還要注意檢查毛細(xì)管樣品的清洗情況，是否有水珠，是否可以用酒精或稀硝酸擦洗。接下來，檢查冷卻循環(huán)水的壓力是否在允許范圍內(nèi)。

　　石墨化爐的性能有哪些　　石墨化爐常用于3200℃以內(nèi)的高溫爐。用于各種高導(dǎo)熱石墨膜(PI膜)、鋰電池正極材料、碳素材料的碳化石墨化，生產(chǎn)碳素材料。碳絲和其他可在碳環(huán)境中燒結(jié)的材料的成型石墨化。　　石墨化爐結(jié)構(gòu)組成由爐體、爐蓋、加熱感應(yīng)器、保溫層及電極引出裝置、水循環(huán)分配系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、溫控系統(tǒng)等。電器系統(tǒng)由電源采用60KVA、IGBT晶體管中頻電源和水冷電纜，中頻電源裝置設(shè)有中頻功率、電壓、中頻頻率、直流電壓、電流等指示儀表，操作顯示器件（中頻電源具備零點動功能）?？刂苹芈肪邆溥^壓、過流、斷水等聲光報警功能。控制部分以15寸觸摸屏和可編程控制器PLC為核心。　　了解了爐子的基本組成結(jié)構(gòu)后，廠家?guī)Т蠹伊私庀聽t子的性能：　　1、使用溫度高達(dá)2800度，溫度均勻性好，設(shè)備運行故障率低。　　2、帶有紅外測溫及控溫系統(tǒng)，可實時顯示并PID自動控制(如下圖)爐內(nèi)的溫度，生產(chǎn)的產(chǎn)品質(zhì)量穩(wěn)定。同時保障產(chǎn)品的要求。　　3、采用三相電供電方式，三相電力平衡，性能穩(wěn)定。不象碳管爐采用單相供電，相電壓不平衡，對電網(wǎng)沖擊大，影響其他設(shè)備運轉(zhuǎn)?！　?、使用溫度高，高溫度可達(dá)3000℃，石墨化爐可工作在2600-2800℃　　5、采用碳?xì)肿霰夭牧?，沒有使用碳黑，更換碳管方便，同時干凈衛(wèi)生?！　?、升溫時間短，可達(dá)200℃/小時?！　?、爐體密封性好，保護(hù)氣體損耗小。所有法蘭和爐蓋都采用密封條進(jìn)行密封。　　8、爐體內(nèi)膽和法蘭采用不銹鋼制作，不生銹，使用壽命長?！　?、石墨化爐配有真空泵用于爐內(nèi)氣體的置換，換氣時間短，用氣量少。

　　真空熔煉爐常見的故障及處理方式　　真空熔煉爐在使用長時間后會出現(xiàn)一些故障，這是在所難免的。今天八佳小編就和大家說說當(dāng)故障出現(xiàn)，要做哪些處理方法?！　?、故障現(xiàn)象:真空熔煉爐運行正常,但在正常過流保護(hù)動作時燒毀較多的是KP晶閘管和快熔。　　分析處理:過流保護(hù)時為了向電網(wǎng)釋放平波電抗器的能量,整流橋由整流狀態(tài)轉(zhuǎn)到逆變狀態(tài),這時如果α>120度;,就有可能造成有源逆變顛覆,燒毀多只晶閘管和快熔,開關(guān)跳伴隨有巨大的電流短路爆炸聲,對變壓器產(chǎn)生較大的電流和電磁力沖擊,嚴(yán)重時會損壞變亞器。　　2、故障現(xiàn)象:真空熔煉爐運行正常,但在高電壓區(qū)內(nèi)某點附近設(shè)備工作不穩(wěn)定,直流電壓表晃動,設(shè)備伴隨有吱吱的聲音,這種情況極容易造成逆變橋顛覆燒毀晶閘管?！　》治鎏幚?這種故障較難排除,多發(fā)生于設(shè)備的某部件高壓打火:　　(1)真空熔煉爐的連接銅排接頭螺絲松動造成打火　　(2)斷路器主接頭氧化導(dǎo)致打火;　　(3)補償電容接線樁螺絲松動，引起打火，補償電容內(nèi)部放電阻容吸收電打火;　　(4)水冷散熱器絕緣部分太臟或炭化對地打火;　　(5)真空熔煉爐爐體感應(yīng)線圈對爐殼/爐底板打火，爐體感應(yīng)線圈匝間距太近，匝間打火或起弧。固定爐體感應(yīng)線圈的絕緣柱因高溫炭化放電打火　　(6)晶閘管內(nèi)部打火?！　∫陨暇褪钦婵杖蹮挔t廠家分析的兩種常見的故障。大家明白了嗎?如果還有不明白，也可以打電話咨詢。

　　真空燒結(jié)爐使用這7點可得注意　　真空燒結(jié)爐是在抽真空后充氫氣保護(hù)狀態(tài)下，利用中頻感應(yīng)加熱的原理，使處于線圈內(nèi)的鎢坩堝產(chǎn)生高溫，通過熱輻射傳導(dǎo)到工作上，適用于科研、軍工單位對難熔合金如鎢、鉬及其合金的粉末成型燒結(jié)。安裝電爐的場所應(yīng)符合真空衛(wèi)生的要求，周圍的空氣應(yīng)清潔和干燥，并有良好的通風(fēng)條件，工作場地不易揚起灰塵等。使用時我們應(yīng)該知道哪些事項?　　1、檢查真空燒結(jié)爐控制柜中所有部件及配件是否完備、完好。　　2、控制柜安裝在相應(yīng)的地基上，并固定?！　?、安照接線圖，并參考真空燒結(jié)爐原理圖，接通外接主回路及控制回路，并可靠接地，保證接線無誤?！　?、檢查電器可動部分應(yīng)活動自如，無卡死現(xiàn)象?！　?、絕緣電阻應(yīng)不低于2兆歐姆。真空燒結(jié)爐各閥門須在關(guān)閉位置。控制電源開關(guān)放在關(guān)位?！　?、手動調(diào)壓旋鈕逆時針旋動頭。　　7、報警鈕放在開位?！　“雌矫鎴D完成設(shè)備的循環(huán)冷卻水聯(lián)接，建議用戶在真空燒結(jié)爐總進(jìn)出水管處再接入一備用水(可用自來水)，防止循環(huán)水有故障或斷電導(dǎo)致密封圈燒壞。

　　真空燒結(jié)爐是如何改善陶瓷材料性能的　　真空燒結(jié)爐是將具有特定化學(xué)成分和物理功用的材料轉(zhuǎn)變成特定結(jié)構(gòu)的陶瓷材料，使之在高真空條件下燒結(jié)。傳統(tǒng)上用真空燒結(jié)來取得高溫高質(zhì)量的制品，但因為高溫下燒結(jié)產(chǎn)生氣孔、裂紋、夾渣、組織疏松等缺陷。為了戰(zhàn)勝傳統(tǒng)燒結(jié)過程中的這些缺陷，人們通過改變燒結(jié)氣氛進(jìn)行實驗，并不斷改善工藝來取得具有優(yōu)良功用的陶瓷制品?！　≌婵諢Y(jié)爐的真空輔佐加熱技能可以提高樣品在高溫下的質(zhì)量穩(wěn)定性，且在改善材料功用與質(zhì)量穩(wěn)定性方面作用明顯，尤其是對一些高溫條件下構(gòu)成晶粒細(xì)微、細(xì)密組織或結(jié)構(gòu)愈加明顯?！　≌婵諢Y(jié)爐的保養(yǎng)，一般包含以下幾點：　　1、操作前首先查看爐體的真空度，當(dāng)爐體的真空度計顯現(xiàn)為0.12Pa~0.3Pa時，即可投入作業(yè)；　　2、當(dāng)爐內(nèi)的作業(yè)溫度抵達(dá)300℃以上時，請使用不銹鋼加熱器以確保爐體的安全性；　　3、為避免爐內(nèi)產(chǎn)生過多水蒸氣影響其散熱作用，主張選用空氣加熱器進(jìn)行加熱；　　4、因為真空燒結(jié)爐的作業(yè)環(huán)境比較惡劣（溫度高達(dá)500℃以上），為了確保其正常運轉(zhuǎn)和延伸其使用壽命，主張您每半年對真空燒結(jié)爐進(jìn)行一次全方面的保護(hù)保養(yǎng)作業(yè)。

　　真空燒結(jié)爐如何進(jìn)行硬質(zhì)合金燒結(jié)　　真空燒結(jié)爐是一種在高溫下，使陶瓷生坯固體顆粒的彼此鍵聯(lián)，晶粒長大，空位(氣孔)和晶界漸趨減少，經(jīng)過物質(zhì)的傳遞，其總體積縮短，密度增加，終究成為具有某種顯微結(jié)構(gòu)的細(xì)密多晶燒結(jié)體的爐具?！　≌婵諢Y(jié)爐進(jìn)行硬質(zhì)合金燒結(jié)時，是將粘結(jié)相，以金屬(Co，Ni)為主，也稱金屬陶瓷材料，和陶瓷相(以TiC，TaC，NbC)為基，溫度高于粘結(jié)相而融為一體，達(dá)到這一進(jìn)程叫做燒結(jié)工藝?！　≌婵諢Y(jié)爐首要用于陶瓷粉體、陶瓷插芯和其他氧化鋯陶瓷的燒結(jié)，金剛石鋸片的燒結(jié)，也可用于銅材，鋼帶退火等熱處理，也可用于厚膜電路、厚膜電阻、電子元件電極、LTCC、鋼加熱器、太陽能電池板等類似產(chǎn)品的高溫?zé)Y(jié)、熱處理。真空燒結(jié)爐首要應(yīng)用在鋼鐵作業(yè)、冶金作業(yè)、新材料作業(yè)等。　　工業(yè)領(lǐng)域真空燒結(jié)爐涵蓋了市場上大部分的高溫多晶硅鑄錠爐真空燒結(jié)爐，依照作業(yè)來分，真空燒結(jié)爐的品種首要有:　　1.硬質(zhì)合金領(lǐng)域:　　低壓(60bar)真空燒結(jié)爐，真空脫脂真空燒結(jié)爐，低壓脫脂真空燒結(jié)爐，低壓脫脂燒結(jié)氣淬爐(20bar);　　2.粉末冶金領(lǐng)域:　　連續(xù)式網(wǎng)帶真空燒結(jié)爐(1150度)，推桿式真空燒結(jié)爐(1250度)，鋼帶真空燒結(jié)爐(1000度)，回轉(zhuǎn)式真空燒結(jié)爐等;　　3.太陽能領(lǐng)域:　　多晶硅鑄錠爐也歸于真空燒結(jié)爐的一種。

　　真空燒結(jié)爐的安全操作規(guī)程26條：　　1．中頻電源、真空爐爐體、感應(yīng)圈之冷卻水源——蓄水池之水有必要充溢，水中不得有雜質(zhì)?！　?．開動水泵，使其中頻電源，真空爐感應(yīng)圈、爐體冷卻系統(tǒng)水循環(huán)正常，并調(diào)整水壓控制在規(guī)則值?！　?．查看真空泵電源系統(tǒng)，皮帶盤皮帶松緊，真空泵油是否位于油封查詢孔中線。查看妥后，人工翻滾真空泵皮帶盤，如無失常，可在關(guān)閉蝶閥的狀況下，建議真空泵?！　?．查看真空爐體內(nèi)狀況，要求真空爐體內(nèi)一級衛(wèi)生，感應(yīng)圈絕緣出色，密封真空膠帶具有彈性，標(biāo)準(zhǔn)合格。　　5．查看真空爐體的杠桿手把建議是否靈活?！　?．查看翻滾式麥?zhǔn)险婵沼嬍欠穹弦蟆！　?．查看石墨坩堝，裝爐配件是否完全。　　8．在以上準(zhǔn)備就緒后，接通電源，中頻電源合閘，按中頻建議規(guī)則，試建議變頻，成功后連續(xù)變頻，方可開爐?！　?．真空爐體上蓋的查詢、測溫孔，每次開爐均需清潔處理，以便查詢和測溫?！　?0．裝爐時應(yīng)根據(jù)不同燒結(jié)產(chǎn)品，采用相應(yīng)裝爐方式。按有關(guān)材料裝爐規(guī)則裝盤，不得隨意更改。　　11．為了堅持恒溫，避免熱輻射，發(fā)熱坩堝上加二層碳纖維，再罩上隔熱屏。　　12．墊好真空密封膠帶。　　13．操作杠桿手把，翻滾真空爐頂蓋與爐體親近重合，放下頂蓋，并鎖好固定螺母。　　14．緩緩翻開蝶閥，抽爐體空氣，至真空度抵達(dá)規(guī)則值。　　15．在真空度抵達(dá)規(guī)則要求后，開始建議變頻，調(diào)整中頻功率，按有關(guān)材料的燒結(jié)規(guī)則操作；升溫、保溫冷卻?！　?6．燒結(jié)結(jié)束后，連續(xù)變頻，按連續(xù)變頻開關(guān)，逆變連續(xù)作業(yè)，斷開中頻電源分閘與斷開電源總閘?！　?7．從爐體查詢孔查詢爐膛發(fā)黑后，先關(guān)閉真空泵蝶閥與斷開真空泵電流，再接自來水繼續(xù)冷卻感應(yīng)圈和爐體，畢竟停水泵?！　?8．中頻電壓750伏有觸電風(fēng)險。在整個操作和查看過程中，要留神操作安全，不要用手觸摸中頻電柜?！　?9．在燒結(jié)過程中，隨時從爐體周圍面查詢孔查詢感應(yīng)圈是否產(chǎn)生放弧現(xiàn)象，如發(fā)現(xiàn)失?，F(xiàn)象，應(yīng)立即陳說有關(guān)人員處理。　　20．建議真空蝶閥應(yīng)緩慢，否則會因抽氣過急而冒油，帶來不良后果?！　?1．正確運用翻滾式麥?zhǔn)险婵沼嫞駝t會構(gòu)成真空讀數(shù)差錯或因操作過急而使水銀溢出構(gòu)成公害。　　22．留神真空泵皮帶盤安全工作?！　?3．在墊真空密封膠帶，蓋爐體頂蓋時，留神避免壓手?！　?4．凡在真空條件下，簡略蒸騰影響真空衛(wèi)生，構(gòu)成管道堵塞、真空泵臟化的工件或容器，不得入爐?！　?5．凡產(chǎn)品加有成型劑(如油或白臘)，有必要脫掉方可入爐燒結(jié)，否則會構(gòu)成不良后果?！　?6．悉數(shù)燒結(jié)過程中，要留神水表壓力規(guī)模和冷卻水循環(huán)，避免產(chǎn)生事端。

　　真空氣氛燒結(jié)爐溫度不達(dá)標(biāo)的處理方法　　真空氣氛燒結(jié)爐在高溫實驗中，溫度不能達(dá)到實驗溫度值，可對電氣系統(tǒng)進(jìn)行校準(zhǔn)，于一些常見的常壓爐，假定溫度上升非常緩慢，則需求檢查空氣循環(huán)系統(tǒng)，檢查空氣循環(huán)調(diào)度風(fēng)門是否正確翻開，反之亦然，并檢查空氣循環(huán)電機是否正常作業(yè)?！　‘?dāng)設(shè)備在查驗作業(yè)中遽然產(chǎn)生缺陷時，操控表面上會出現(xiàn)相應(yīng)的缺陷閃現(xiàn)提示和動態(tài)報警提示。操作員可以根據(jù)“設(shè)備操作和運用中的缺陷打掃”一章快速檢查缺陷歸于哪種類型，然后請技術(shù)人員快速打掃缺陷，以保證查驗的正常作業(yè)。其他環(huán)境實驗設(shè)備在運用中會有其他現(xiàn)象，因此有必要剖析和消除特定現(xiàn)象?！　〖俣ㄔO(shè)備的低溫不能抵達(dá)查驗政策，查詢溫度改動，溫度下降非常緩慢仍是在抵達(dá)必定值后趨于上升。前者應(yīng)該連續(xù)。真空氣氛爐是否在低溫實驗前單調(diào)作業(yè)室，并在實驗后堅持作業(yè)室單調(diào)。假定作業(yè)室中的查驗樣本太多，作業(yè)室中的風(fēng)就無法完全活動?！　≌婵諝夥諢Y(jié)爐常見的故障現(xiàn)象及解決方案，如下：　　故障一：真空度低　　原因：泵油污染、太少或太稀?！　〗鉀Q方案：清潔真空泵并更換新的真空泵?！　」收隙撼闅鈺r間太短　　解決方案：延長抽氣時間?！　」收先号艢鉃V清器堵塞　　清潔或更換排氣濾清器?！　」收纤模郝猓骸　∨趴蘸箨P(guān)閉電源，檢查電磁閥、管接頭、真空泵吸入閥、工作室周圍密封墊是否漏氣?！　」收衔澹涸胍舸蟆　≌婵毡寐?lián)軸器磨損或損壞，應(yīng)更換。　　故障六：排氣濾清器堵塞或安裝不正確　　清潔或更換排氣濾清器并正確安裝。　　故障七：真空泵注油　　吸入閥的O形圈脫落，拔出泵噴嘴上的真空管，拆下吸入噴嘴，取出壓縮彈簧和吸入閥，輕輕拉伸O形圈幾次，重新插入凹槽，然后安裝。

　　真空燒結(jié)爐的主要功能和特點：　　1、加熱元件均勻的散布在圓形或方形氧化鋁爐膛內(nèi)，散布合理，溫場均勻性好，可抽真空，真空度可達(dá)0.05mPa以下，并能通入多種維護(hù)氣氛；　　2、爐膛選用進(jìn)口氧化鋁多晶纖維材料，保溫性能好，經(jīng)用，拉伸強度高，無雜球，純度高，節(jié)能效果顯著優(yōu)于國內(nèi)纖維材料；　　3、加熱元件的發(fā)熱溫度：　　1）加熱元件選用高電阻優(yōu)質(zhì)合金絲0Cr27Al7Mo2，發(fā)熱溫度可達(dá)1300℃；　　2）加熱元件選用優(yōu)質(zhì)硅碳棒，發(fā)熱溫度可達(dá)1450℃；　　3）加熱元件選用優(yōu)質(zhì)硅鉬棒，發(fā)熱溫度可達(dá)1850℃；　　4、爐門選用循環(huán)水冷體系，可有用保證整體的密封性；　　5、可以預(yù)抽真空并能通氨分解氣、氬氣、氮氣等氣體，爐內(nèi)設(shè)有充氣超壓防爆體系；　　6、可以預(yù)設(shè)多條加熱曲線，分配給不同的燒結(jié)材料，需求時直接調(diào)用，互不煩擾，無需重復(fù)批改溫度參數(shù)；　　7、裝備進(jìn)口壓力傳感器，過壓自動泄壓維護(hù)，操作安全可靠；　　8、預(yù)留了485轉(zhuǎn)化接口，可通過我司專用軟件，與計算機互聯(lián)，可完成單臺或許多臺電爐、實時、歷史記錄、輸出報表等功能；　　9、超溫報警并斷電，漏電維護(hù)，操作安全可靠。